五臺山脈屬太行山系，以北臺頂葉斗峰為起點，五臺山脈可劃分為三大支脈，分別延伸到河北阜平縣、平山縣，山西五臺縣、繁峙縣、代縣、原平市及定襄縣。此外，在五臺縣境內(nèi)還有茹村天和隆起和窯頭隆起。整個山脈在五臺縣境內(nèi)有較大山峰146座，繁峙縣境內(nèi)15座，

五臺山地貌中，較為特殊的是冰緣地貌。它是由于第四紀地下冰融化作用形成的冰川遺跡。中國的冰緣地貌，主要分布在青藏、西北高山地區(qū)和大興安嶺一帶，而華北僅見于五臺山。 五臺山的冰緣地貌，是德國舒密特赫教授于1913年(民國2年)在五臺山進行地質(zhì)考察時首

五臺山境域內(nèi)地形極為復雜。由于受五臺山脈走向影響，境內(nèi)主要為五臺背斜隆起和滹沱河斷陷盆地。由于歷次地質(zhì)構造運動，使境內(nèi)地形表現(xiàn)為重巒疊嶂、丘陵起伏、溝壑縱橫、高差懸殊的特征。按其成因和形成特點，可分三大類: 剝蝕構造的斷塊高中山地 以五座臺頂

五臺山境域內(nèi)，巖漿巖發(fā)育類型比較齊全。 前寒武紀花崗巖 寒武紀以前形成的花崗巖，主要有五臺縣的黃金山花崗斑巖體、智存溝片麻狀復式花崗巖體、光明寺片麻狀復式花崗巖體、清涼社片麻狀復式花崗巖體，石佛片麻狀花崗巖體、峨口片麻狀花崗巖體，代縣王家會

主要分布于豆村、五臺、東冶、茹村等盆地中，山區(qū)低洼部分和邊緣山麓部分也有零星分布。主要發(fā)育的是第四系中、上更新統(tǒng)，上第三系上新統(tǒng)分布局限，第四系成因類型主要為坡洪積和河湖相。上第三系上新統(tǒng)為淺紅色、深紅色粘土夾礫巖、泥灰?guī)r薄層，厚度10~30米

下元古界以五臺山區(qū)的滹沱群為代表。到25億年前后，五臺山發(fā)生五臺運動，造成不少花崗巖侵入。著名的北臺花崗片麻巖就是明顯標志。接著，滹沱群開始沉積，它所表現(xiàn)出來的韻律極為明顯，下部顆粒粗大，為礫巖、石英巖;向上變細為頁巖，上部則是白云巖。分為豆